纳米级重复定位精度超精密传动、驱动控制技术。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复定位精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因数，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等无静摩擦效应轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。伺服运动控制器除了高分辨、高实时性要求外，控制算法模式也需不断进步。
开放式高性能CNC数控系统技术。从加工精度和效能出发，数控系统除了满足超精密机床控制显示分辨率、精度，实时性等要求，还需扩展在机测量、对刀、补偿等许多辅助功能。通用数控系统难以满足要求。所以，超精密机床现基本都采用PC+运动控制器研制开放式CNC数控系统模式。
高精度气、液、温度、振动等工作环境控制技术。机床隔振及水平姿态控制。（金属加工杂志）振动对超精密加工的影响非常明显，远驶的汽车都有影响。机床隔振需采取特殊的地基处理和机床本体气浮隔振复合措施。机床体气浮隔振系统还需具备自动调平功能，以防止机床加工中水平状态变化对加工的影响。对于LODTM隔振要求高的机床，隔振系统的自然频率要求在1HZ以下。
温度控制。温度对加工精度的影响非常大。因此，LODTM机床温控要求极其高。
应用展望
超精密加工机床系统与技术总的发展趋势：更高的加工表面质量、面形精度；朝大、小尺度两个方向发展；提高工件复杂形面、不同材料的加工适应性等。
大的尺度发展应用如适应未来空、天基强激光武器轻质、高刚性金属基主反射镜加工的超大型SLODTM机床；地基超大口径深空望远镜（如欧洲的Euro50(Φ50m）、OWL(Φ100m))拼接式离轴非球面镜（数米尺寸）加工的多轴超精密磨削加工等。
近年来，太赫兹（THZ）作为一门新兴技术得到了广泛重视，是未来超精密加工技术与机床极为广大和重要的应用领域。在大的尺度方面，太赫兹应用不亚于前列的大的发展需求，如太赫兹天线镜面加工需求。在小的尺度方面，太赫兹系统中的微型波纹喇叭天线（毫米级复杂形状内腔，微米级加工精度）是未来所需解决的超精密加工难题之一。（金属加工杂志）在加工面形的复杂度方面，由于太赫兹波束控制元件表面电磁特性，其设计元件面形更具复杂性，如非对称赋形自由曲面等。在加工材料方面，太赫兹应用更具多样性。
发展超精密加工机床系统，我国需重点突破解决的关键技术包括：高精度、高分辨率、高稳定、大位移坐标测量系统，先进控制算法（自适应控制、二阶动态无差控制等）的高性能多轴运动控制器，工件在机超精密测量与补偿技术，超高精度环境控制技术等。